Сенсор освітленості на основі кремнієвих нанониток

##plugins.themes.bootstrap3.article.main##

Ivan Vasyliovych Skyba

Анотація

У статті розглянуто синтез кремнієвих нанониток методом метало-стимульованого хімічного травлення (МСХТ) у різних технологічних режимах. На основі отриманих зразків були синтезовані діодні сенсори освітленості, для яких було розраховано чутливість у фотодіодному (до 1,53 мА/лмВ) та фотогенераторному (304 мА/Вт) режимах. На основі отриманих результатів були встановлені оптимальні технологічні режими синтезу кремнієвих нанониток для використання їх в сенсорах освітленості. Найоптимальнішим з них виявився режим з часом проведення першого етапу МСХТ 40 c, часом проведення другого етапу 30 хв та об'ємом перекису водню на рівні 0,8 мл.

##plugins.themes.bootstrap3.article.details##

Як цитувати
Skyba, I. V. (2020). Сенсор освітленості на основі кремнієвих нанониток. Електронна та Акустична Інженерія, 3(3), 5–10. https://doi.org/10.20535/2617-0965.2020.3.3.198610
Розділ
Мікросистеми та фізична електроніка

Посилання

Y. Xia, B. Liu, S. Zhong, C. Li, “X-ray photoelectron spectroscopic studies of black silicon for solar cell,” J. Electron Spectrosc. Relat. Phenom., vol. 184, pp. 589–592, 2012.DOI: 10.1016/j.elspec.2011.10.004

G.X. Zhang, “Porous silicon: morphology and formation mechanisms,” J. Electrochem. Soc., vol. 39, pp. 65–133, 2006, URL: https://link.springer.com/chapter/10.1007/978-0-387-31701-4_2

Z. Shen, B. Liu, Y. Xia, J. Liu, J. Liu, S. Zhong, C. Li, “Black silicon on emitter diminishes the lateral electric field and enhances the blue response of a solar cell by optimizing depletion region uniformity,” Scr. Mater., vol. 68, pp. 199–202, 2013, DOI: 10.1016/j.scriptamat.2012.10.023

Y. Xia, B. Liu, J. Liu, Z. Shen, C. Li, “A novel method to produce black silicon for solar cells,” Sol. Energy, vol. 85, no. 7, pp. 1574–1578, 2011, DOI: 10.1016/j.solener.2011.03.012

P. Zhang, R. Jia, K. Tao, X. Dai “The influence of Ag-ion concentration on the performance of mc-Si silicon solar cells textured by metal assisted chemical etching (MACE) method,” Solar Energy Materials and Solar Cells, vol. 200, no. 9, p. 109983, 2019, DOI: doi.org/10.1016/j.solmat.2019.109983

X.Li, Z.Gao, D. Zhang, K.Tao, R. Jia, A. Jiang “High-efficiency multi-crystalline black silicon solar cells achieved by additive assisted Ag-MACE,” Solar Energy, vol. 195, pp. 176-184, 2020, DOI: 10.1016/j.solener.2019.11.045

K.Chen, J. Zha, F.Hu, X. Ye, S,Zou, J. Pearce “MACE nano-texture process applicable for both single- and multi-crystalline diamond-wire sawn Si solar cells,” Solar Energy Materials and Solar Cells, vol. 191, pp. 1-8, 2019,DOI: 10.1016/j.solmat.2018.10.015

Venkatesan R., Arivalagan M.K., Venkatachalapathy V., Pearce J., Mayandi J. “Effects of silver catalyst concentration in metal assisted chemical etcing of silicon,” Materials Letters, vol. 221, pp. 206-210, 2018, DOI: 10.1016/j.matlet.2018.03.053

Behera A.K., Viswanath R.N., Lakshmanan C., Mathews T., Kamruddin M. “Synthesis of silicon nanowalls exhibiting excellent antireflectivity and near super-hydrophobicity,” Nano-Structures ad Nano-Objects, vol.21, pp. 100424-7, 2020, DOI: 10.1016/j.nanoso.2020.100424

V.Koval, et al. “Metal-Assisted Chemical Etching of Silicon for Photovoltaic Application,” IEEE 39th International Conference on Electronics and Nanotechnology (ELNANO), Kyiv, 2019, pp. 282–287, DOI: 10.1109/ELNANO.2019.8783506