Sorokin, D. і Hubar, V.H. 2019. Блок керування установки для експонування фоторезисту. Електронна та Акустична Інженерія. 2, 2 (Квіт 2019), 26–29. DOI:https://doi.org/10.20535/2617-0965.2019.2.2.163413.