SOROKIN, D.; HUBAR, V. H. Блок керування установки для експонування фоторезисту. Електронна та Акустична Інженерія, [S. l.], v. 2, n. 2, p. 26–29, 2019. DOI: 10.20535/2617-0965.2019.2.2.163413. Disponível em: http://feltran.kpi.ua/article/view/163413. Acesso em: 23 лис. 2024.