Sorokin, D., і V. H. Hubar. «Блок керування установки для експонування фоторезисту». Електронна та Акустична Інженерія, т. 2, вип. 2, Квітень 2019, с. 26-29, doi:10.20535/2617-0965.2019.2.2.163413.