Sorokin, Dmytro, і V. H. Hubar. «Блок керування установки для експонування фоторезисту». Електронна та Акустична Інженерія 2, no. 2 (Квітень 25, 2019): 26–29. дата звернення Липень 24, 2024. http://feltran.kpi.ua/article/view/163413.