Sorokin D, Hubar VH. Блок керування установки для експонування фоторезисту. Електрон. та Акуст. Інж. [інтернет]. 25, Квітень 2019 [цит. за 21, Листопад 2024];2(2):26-9. доступний у: http://feltran.kpi.ua/article/view/163413