За матеріалами міжнародної наукової конференції
DOI: https://doi.org/10.20535/2617-0965.2021.4.1
Опубліковано: 2021-04-02
Весь випуск
Мікросистеми та фізична електроніка
Осадження тонких плівок оксиду молібдену для гнучкої біорозкладної електроніки
227276-1 - 227276-6